有涵盖了低倍观察到高倍观察的4种物镜，并在电动物镜转换器上装配了SPM单元。可以无缝切换倍率和观察方法，不会丢失观察对象。此外，该款显微镜可以进行纳米级观测。

OLS4500是把光学显微镜、激光显微镜、探针显微镜融于一体的一体机，所以无需重新放置样品，即可自由切换3种显微镜进行观察和评价。这3种显微镜各自持有优异的性能，所以能够高效输出最佳结果。

BF 明视场
最常使用的观察方法。在观察中真实再
现样品的颜色。适用于观察有明暗对比
的样品。

DIC 微分干涉
对于在明视场观察中看不到的样品的微小高低差，
添加明暗对比使之变为立体可视。适用于观察金
相组织、硬盘和晶圆抛光表面之类镜面上的伤痕
或异物等。

简易偏振光
照射偏振光（有着特定振动方向的光线），
使样品的偏光性变为肉眼可视。适用于观
察金相组织、矿物、半导体材料等。

HDR　高动态范围
使用不同曝光时间拍摄多张影像并进行影像合成，
可以观察平衡度较好的明亮部分和阴暗部分。此
外，还可以强调纹理（表面状态），进行更精细的
观察。

使用探针显微镜开始观察之前， 可以在向导画面上设置所需的条件， 如安装微悬臂、扫描范围等。所以经验较少的操作者也能安心完成操作。

OLS4500采用了装在电动物镜转换器上的物镜型SPM测头。同轴、共焦配置了物镜和微悬臂前端，所以切换SPM观察时不会丢失观察目标点。不仅如此，新开发的小型SPM测头提高了刚性，所以与传统产品相比，减少了影像瑕疵并提高了可追踪性。

OLS4500能够根据您的测量目的分析在各种测量模式中获取的影像，并以CSV格式输出测量结果。OLS4500有以下分析功能。

• 截面形状分析（曲率测量、夹角测量）
• 粗糙度分析
• 形态分析（面积、表面积、体积、高度、柱状值、承载比）
• 评价高度测量（指定线、指定面积）
• 粒子分析（选项功能）

金属薄膜

铝合金表面

高分子薄膜

Si电路板上的SiO2图案样品。高度影像（左）中
显示为黄色的部分是SiO2。在电流影像（右）中
显示为蓝色（电流不经过的部分）。通过上图，
可以明确电路板中也存在电流不经过的部分。

磁带样品。在电位影像中可以看出数百mV的电位
差分布于磁带表面。这些电位差的分布，可以认为
是磁带表面的润滑膜分布不均匀。

硬盘表面样品。可以观察到磁力信息。

有尖锐角的样品（剃刀）

高度差标准类型B, PTB-5, Institut für
Mikroelektronik, Germany, 6 nm高度测量中的检测

近年来， 工业产品越来越趋于小型化和轻量化， 所以构成产品的各种部件也越来越精细化。随着这些部件的精细化， 除了形状测量以外， 表面粗糙度测量的重要性也日益提高。
为了应对这些市场需求， ISO规定的立体表面结构测量仪器中， 添加了激光显微镜和AFM（ISO 25178-6）。因此， 与传统的接触式表面粗糙度测量相同， 非接触式表面粗糙度测量也被认定为公认评价标准。OLS4500中配置了符合ISO规定的粗糙度参数。

Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr

粗糙度曲线

Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75

波动曲线

Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr

负荷曲线

Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2

基本图形

R, Rx, AR, W, Wx, AW, Wte

粗糙度 (JIS1994)

Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp

其他

R3z, P3z, PeakCount

Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa

功能参数

Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp

体积参数

Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc

横向参数

Sal, Str

光学显微镜是从样品上方照射可见光（波长约400 nm到800 nm）， 利用其反射光成像， 能够放大样品数十倍到一千倍左右进行观察。光学显微镜的特长是可以真实观察彩色样品， 还可以切换观察方法， 强调样品表面的凹凸， 利用物质的特性（偏光性）进行观察。OLS4500上可以使用下述观察方法。

明视场观察 
      最基本的观察方法，通过样品的反射光成像进行观察
微分干涉观察
      给样品表面的微小凹凸添加明暗对比，使之变为可视的立体影像
简易偏振光观察
      照射偏振光（有着特定振动方向的光线），把样品的偏光性变为可视影像

光学显微镜的平面分辨率很大程度上取决于所用光的光子和波长，采用短波长的激光扫描显微镜（LSM）比采用可见光的传统显微镜，拥
有更高的平面分辨率。
LEXT OLS4500采用405 nm的短波长半导体激光、高数值孔径的专用物镜、以及独特的共焦光学系统，可以达到0.12 μm的平面分辨率。此外，OLS4500配有奥林巴斯独有的扫描加扫描型2D扫描仪，可以实现高达4096×4096像素的高精度XY扫描。

                             
高度测量（微透镜）                                          

激光显微镜采用短波长半导体激光和独有的双共焦光学系统， 会删除未聚焦区域的信号， 只将聚焦范围内的反射光检测为同一高度。同时结合高精度的光栅读取能力， 可以生成高画质的影像， 实现精确的3D测量。
 

探针显微镜（SPM）是通过机械式地用探针在样品表面移动，检测出探针与样品之间产生的力、电的相互作用，同时进行扫描，从而得到样品影像。探针尖端曲率半径为10 nm左右。典型的探针显微镜是原子力显微镜（AFM），它通过检测探针和样品表面之间作用的引力和张力进行扫描并获得影像。探针显微镜能够观察纳米级微观形貌，可以捕捉到样品最精细的一面。

OLS4500上采用了光杠杆法——通过高灵敏度检测出最前端装有探针的微悬臂的微小弯曲量（位移）来进行观测的方法。在悬臂的背面反射激光，并用压电元件驱动Z轴，使激光照射到光电检测器的指定位置，从而正确读取Z方向的微小位移。

探针显微镜拥有多种观察模式，可以观察、测量样品表面的形状，还可以进行物性分析。OLS4500配有以下模式。

• 接触模式： 在影像中呈现表面形状（较硬的表面）
• 动态模式： 在影像中呈现表面形状（较软的表面、有粘性的表面）
• 相位模式： 在影像中呈现样品表面的物性差
• 电流模式*： 检测出探针和样品之间的电流并输出影像
• 表面电位模式（KFM）*： 在影像中呈现样品表面的电位
• 磁力模式（MFM）*： 在影像中呈现样品表面的磁性信息
• * 该模式为选项功能。