反射率测定光路图

反射率测定例：镜片

反射率测定例：镜片周边部位

测定膜厚

活用反射率数据，测定约50nm~约10μm的单层膜、多层膜的膜厚。

膜厚测定的图例

测定物体颜色

根据反射率数据显示XY色度图、L*a*b*色度图及相关数值。

物体色的测定图例

测定透过率　(选配)

从受台下部透过Ø2mm的平行光，测定平面样品的透过率。

透过率测定光路图

测定入射角为45度的反射率（选配）

从侧面向45度面反射Ø2mm的平行光，测定其反射率。

45度反射率测定光路图

域的高精度&高速测定

实现高速测定

使用平面光栅及线传感器进行全波长同时分光测定，从而实现高速测定。

光学系图

十分适用于测定细小部件、镜片的反射率

新设计了可以在Ø17~70μm的测定区域中进行非接触测定的专用物镜。通常的分光光度计不能进行测定的细小电子部件或镜片等的曲面，也可以实现再现性很高的测定。

反射率测定图例

测定反射率时，不需要背面防反射处理

将专用物镜与环形照明组合，不需要进行被检测物背面的防反射处理，就可测定最薄0.2mm的反射率*。*使用40×物镜时，在本公司的测定条件下进行测定。

消除背面反射光的原理

可选择的膜厚测定方法

根据测定的分光反射率数据进行单层膜或多层膜的膜厚解析。可以根据用途选择最佳的测定方法。

峰谷法

这是一种根据测定的分光反射率值的峰值与低谷的周期性计算出膜厚的方法，对于测定单层膜是有效的。不需要复杂的设置，可以简单地求出。

峰谷法膜厚解析经过信息图例

曲线调整法

这是一种通过推算测定的分光反射率值与根据某种膜构造计算的反射率的差达到最小的构造计算出膜厚的方法，对于单层膜及多层膜的测定有效。还可以进行不会出现峰值及低谷的薄膜解析。

曲线调整法膜厚解析经过信息图例

多样化应用

高速、高精度地应对多样化测定需求。

通过测定球面、非球面的镜片、滤镜、反射镜等光学元件的反射率，进行涂层评价、物体颜色测定、膜厚测定。

数码相机镜片
投影仪镜片
光读取头镜片
眼镜片

适用于LED反射镜、半导体基板等微小电子部件的反射率测定、膜厚测定。

LED包装
半导体基板

适用于平面光学元件、彩色滤镜、光学薄膜等的反射率测定、膜厚测定、透过率测定。

液晶彩色滤镜
光学薄膜

适用于棱镜、反射镜等45度入射产生的反射率测定。

棱镜
反射镜