SDC-580半导体晶圆全自动接触角测量仪
一·概述（Summary）
接触角（Contact angle）是指在气、液、固三相交点处所作的气-液界面的切线，此切线在液体一方的与固-液交界线之间的夹角θ，接触角测量是现今表面性能检测的主要方法。
SDC-580半导体晶圆款接触角测量仪是采用光学成像的原理，设备采用图像轮廓分析方式测量样品表面接触角、润湿性能、表界面张力、前进后退角、表面能等性能，设备采用全自动进液装置，性价比高、拓展性强、功能全面、可满足各种常规测量需求，目前已经广泛使用在众多高校院所及企业。
二·仪器应用领域
接触角测量仪广泛应用于各个行业领域，在手机制造、玻璃制造、表面处理、材料研究、化学化工、半导体制造、涂料油墨、电子电路、纺织纤维、医疗生物等领域，接触角测量已经成为了一项评估表面性能的重要仪器。
（部分测试功能需要选购专门附件完成）
1. 液体在固体表面的铺展、渗透、吸收等润湿行为，座滴法测量静态接触角；
2. 材料在固体表面的前进角、后退角、接触角滞后、滚动角、动态接触角测量；
3. 吸收材料的连续实时研究及过程记录，接触角随时间变化曲线分析；
4. 各种特殊材料的接触角测量，如粉末、弯曲曲面、超疏水/超亲水样品；
5. 附着滴法测试材料浸没在液体中的接触角测试；
6. 悬滴法测量各种液体表界面张力及其极性、色散分量；
7. 计算固体表面自由能（Surface free energy），及其极性色散分量分析；
8. 分析液体在固体表面的粘附功（Adhersion），评估固体表面均匀性、清洁度等。
三·仪器介绍
SDC-580半导体晶圆接触角测量仪主要由光源、注射单元、样品台、采集系统、分析软件五大部分组成，设备采用光学成像的原理。
1、光源采用密集LED冷光设计，发光均匀，图像清洗，寿命长；
2、注射单元采用高精度注射泵进液，由软件定量定速控制，滴液稳定，精度高达0.01微升；
3、样品台采用三维手动精调平台，操作灵活，定位准确，样品台可根据实际样品尺寸定制；
4、采集系统采用黑白进口CCD相机，拍摄稳定，图像清晰，真实可靠，镜头采用德国工业级进口配置，0.7-4.5倍放大可调，成像无畸形失真；
5、分析软件功能强大，具备一键式全自动拟合能力，具备国际最领先的拟合方法，满足各种液滴形态的精确拟合;
五·产品特点
专业级的高精度全自动注射系统，最低液滴控制精度可达为 0.1μl
可微调式 LED 工业级冷光源系统（寿命 20000H 以上），更清晰的成像，同时
避免额外热度所导致的小液滴挥发
采用高性能日本原装进口工业机芯，无失真远心镜头，确保最佳的成像效果。
采用 USB2.0 标准接口，数据传输速度快，兼容性高
高强度航空铝合金结构，模块化设计理念，可配置各种常用测量附件
日本原装高精度 XYZ 三向运动模组，测试更平稳更准确
自主研发的集成芯片电路控制，保证仪器以最佳状态运行
多种辅助模块选取，满足更多的外部测试条件
国内首家提供德国进口的接触角测量校准样品，确保测量结果精确无误
光学系统可进行倾斜度调节，适合超低角度测量和疏水材料测量
最专业的接触角分析方法，更适合多种材料接触角测量
强大的智能化数据库管理：可录入多组产品参数和测量参数，能随时查看及
调取测试，进行一键多点测量
软件自动触发摄像和计算，全自动多点测量，更多的避免了人为操作误差
高速测量计算，更适用于产线或大量测试产品的生产及应用，提高工作效率
表面接触角分析模块，更简捷的操作，更准确的结果
视频快速测试数据，可连续性进测试接触角形态变化
智能化软件操作：【自动寻找测试点—自动滴液—自动寻找基准线—自动拟合
测量】‐‐一键控制
六·仪器参数
接触角主机 |
外形尺寸 |
长835mm，宽330mm，高639mm |
重量 |
约35KG |
电源 |
220V / 60HZ |
光源系统 |
光源 |
密集LED可调节蓝色基调工业级冷光源 |
寿命 |
使用寿命达贰万伍仟小时以上 |
注射单元 |
注射器 |
专用配套高精密石英注射器、容量500μL |
滴液 |
软件控制自动进液、补液，最高精度高达0.01μL |
注射单元移动 |
上下50mm; 左右50mm；Z轴自动送样测试 |
采集系统 |
CCD |
SONY原装进口高速工业级芯片、30帧/S、130W像素 |
镜头 |
0.7-4.5倍远心变倍变焦双调节式显微镜 |
采集系统调节 |
前后50mm（3mm微调）、视角角度可调（平视、俯视、仰视、360°旋转等多视角观察） |
样品台装置 |
工作台面尺寸 |
240mm（可定制） |
最大样品尺寸 |
12寸/8寸/6寸 |
样品台移动 |
前后移动 手动，行程215mm，导轨快速移动式
旋转角度 360°水平旋转 |
分析软件 |
接触角测量范围 |
0-180° |
接触角测量最高精度 |
±0.1° |
测试分辨率精度 |
0.001° |
表界面张力测量范围 |
0-5000mN/m |
表界面张力测量精度 |
0.01 mN/m |
分析方法 |
国内最先进的接触角测量分析软件自动拟合法（一键自动拟合，
不存在人工误差）包括：圆法拟合（Circle method）、椭圆/斜
椭圆拟合法（Ellipse/Oblique ellipse）、Young-lapalace拟合、微分椭圆法/微分圆法（Differential circle / Differential ellipse）； |
表面自由能 |
Zisman、OWRK、WU、WU 2、Fowkes、Antonow、Berthelot、EOS、粘附功、浸湿功、铺展系数 |
动态接触角拟合 |
批量截图拟合、视频连续自动拟合、自动在线实时拟合 |
表/界面张力测试 |
悬滴法（可实时全自动动态表面张力测试） |
测试液滴状态 |
悬滴法(Pendant Drop)、停滴法(Sessile Drop)（2/3态）、掳泡法、座滴法、座针法 |
七·接触角专业测量方法
座滴法（sessile drop）; 
悬滴法（pendant drop）; 
薄膜法（lamella method）; 
掳泡法（Captive bubble method）; 
包覆纤维法（wetted fiber）; 
纤维座滴法（sessle fiber drop）;
八· 符合国家的相关标准
GB/T 24368‐2009(玻璃表面疏水污染物检测)
SY/T5153‐2007（油藏岩石润湿性测定方法）
ASTM D 724‐99（2003）（纸的表面可湿性的试验方法）
ASTM D5946‐2004（塑料薄膜与水接触角度的测量）
ISO15989（塑料薄膜和薄板电晕处理薄膜的水接触角度的测量）
