AL120系列8寸晶圆检测系统

AL120系列8寸晶圆检测系统/硅片搬送机 AL120

基于硅片的尺寸，AL120系列有3种基本机型，单200mm（AL120-L8）、150mm和200mm兼容（AL120-L86）、单150mm或以下尺寸（AL120-L6）。每一款都是为了传输硅片已经进行显微镜检查而设计。正面宏观和背面宏观检查均可适用与各种尺寸的硅片。

可以传输超薄的硅片，最薄到90um

为了应对更具有挑战性的超薄硅片，奥林巴斯特殊设计了传输手臂，可以应对25片装的200mm的片盒以及最薄到90um的硅片，并完成安全传输和显微镜检查。可通过面板最多可预设10种不同厚度的硅片信息。

最新款的具备宏观检查功能的机台（LMB型）具有360度自动旋转而完成硅片的全面宏观检查。这一设计可以方便的发现硅片正反面上的缺陷和颗粒。另外，可以通过使用摇杆将硅片倾斜30度进行宏观检查。

LCD显示屏提供给操作者更直观的视觉感受，使得检查项目和次序一清二楚，以及安装调试所需要设置的参数也一目了然。检查结果、包括操作者输入的宏观和微观的缺陷记号一并可以显示在LCD显示屏上，方便操作者的回顾。

对于硅片的安全性

AL120采用最新的两种硅片检测方式：硅片的厚度以及在片盒中的位置。传输前先扫描硅片在片盒中的位置。选购的载物台自动锁死功能提高了硅片传输到真空载物台的安全性。

强大和可靠的显微镜

奥林巴斯半导体检查显微镜MX61通过不同的观察方式：明场、暗场、微分干涉、红外和深紫外，都可以呈现出高清晰度和高解析的图像。配备电动物镜转盘，与显微镜主机的孔径光澜具有联动功能，每一次物镜的切换，孔径光澜也会自动变换。

SEMI S2/S8 和RoHS 标准

AL120设计不单只重视传输中的硅片的安全，也保证操作者的安全，完全符合SEMI的S2和S8标准，同时也满足了Rohs标准。

另外设计了12”硅片专用搬送机
根据客户的要求，设计了针对2种不同片盒（FOSB、FOUP）的机台，满足了目前市场上所有的需求。